半導(dǎo)體光電凈化車(chē)間電子無(wú)塵車(chē)間布局一般包括：

1.潔凈生產(chǎn)區(qū)；

2.潔凈輔助間（包括人員凈化室、材料凈化室、部分生活用室等）；

3.管理區(qū)域（包括辦公室、值班、管理和休息等）；

4.設(shè)備區(qū)（含凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)用、電氣室、高純水高純氣室、冷熱設(shè)備室）。

凈化原理：氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→高效凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走灰塵、細(xì)菌等顆粒物→回風(fēng)百葉窗→初效凈化重復(fù)上述過(guò)程達(dá)到凈化目的。

廠(chǎng)房布置：

廠(chǎng)房布置通常采用集中式布置和分散式布置兩種形式，廠(chǎng)房布置主要有平面布置和立面布置。廠(chǎng)房的平面布置主要是確定廠(chǎng)房面積和柱網(wǎng)布置，包括：生產(chǎn)區(qū)域的劃分、生產(chǎn)線(xiàn)的組織、廠(chǎng)房面積的組成。

廠(chǎng)房平面布置的要求：

a. 合理規(guī)劃廠(chǎng)房出入門(mén)口、通道、樓梯和過(guò)橋的位置

b. 各種地下建筑物如排水溝、電纜溝、工藝設(shè)備管道的地溝、地坑等應(yīng)統(tǒng)一考慮。合理安排，節(jié)約基建工程量，并且避免與建筑物基礎(chǔ)及設(shè)備基礎(chǔ)發(fā)生矛盾

c. 廠(chǎng)房平面布置應(yīng)力求規(guī)整

d. 根據(jù)生產(chǎn)過(guò)程的特點(diǎn)和要求，有些工序需留足必須的儲(chǔ)存、堆放面積

e. 廠(chǎng)房立面布置即空間布置，主要確定廠(chǎng)房的高度和層數(shù)，廠(chǎng)房立面布置應(yīng)力求簡(jiǎn)單，避免層數(shù)過(guò)多和層高過(guò)高，廠(chǎng)房的立面布置應(yīng)注意整齊、美觀(guān)。

設(shè)備布置：

a. 設(shè)備布置就是把車(chē)間內(nèi)的各種設(shè)備按照工藝流程要求加以定位，除了主機(jī)設(shè)備外，還包括附屬設(shè)備，工藝管道，檢修設(shè)備。

b. 主要設(shè)備要與廠(chǎng)房建筑的主要柱網(wǎng)相對(duì)定位，設(shè)備與設(shè)備之間也要相對(duì)定位，設(shè)備布置主要取決于生產(chǎn)流程和設(shè)備安裝和操作檢修的需要，同時(shí)也要考慮其它專(zhuān)業(yè)對(duì)布置的要求。

設(shè)備布置要求：

a. 重型設(shè)備以及在運(yùn)轉(zhuǎn)中產(chǎn)生較大振動(dòng)的設(shè)備要有一段間隔。

b. 工藝管道應(yīng)盡量集中布置，力求管線(xiàn)最短，轉(zhuǎn)彎最少且布置整齊。

c. 設(shè)備沿墻布置時(shí)，應(yīng)注意不要影響門(mén)窗的開(kāi)啟，不妨礙廠(chǎng)房的采光和通風(fēng)。

d. 為安裝與檢修時(shí)調(diào)運(yùn)設(shè)備或部件或在日常生產(chǎn)中吊運(yùn)其它物件，通常在樓板上設(shè)置吊物孔，各層樓板的吊物孔一般上下對(duì)正，可貫通吊運(yùn)。

e. 在設(shè)備上方不設(shè)置起重設(shè)施時(shí)，應(yīng)預(yù)留足夠的空間和面積，以架設(shè)臨時(shí)起重裝備。

WOLLAB 半導(dǎo)體電子凈化車(chē)間 廠(chǎng)房 平面 規(guī)劃建設(shè)

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